TDDB試験システム

同時に96個のデバイスのTDDB試験を行い、各々32個の3グループのデバイスに分けて異なる条件で試験が可能

機能

同時に96個のデバイスのTDDB試験をするものです。
96個のデバイスは、各々32個の3グループのデバイスに分けて異なる条件で試験を行うことが可能です。
試験中の電流(定電圧モード・ランプ電圧モード時)及び電(定電流モード時)は、指定の時間々隔毎に保存されます。
試験終了後には、故障時間でソートした故障した時間vs座標に並び替え、ワイブル分布、欠陥密度関数で信頼性を評価します。

表示種類

  • トレンドグラフ表示(経過時間 vs 電流及び電圧)
  • 破壊時間カラーマップ(ウェハ上)
  • 故障時間 vs ワイブル(試験終了後

システム構成

システム構成図
開発分類
半導体関連計測
開発環境
Windows XP Professional
言語
VisualStudio 2005 C#

本事例の開発環境・言語のバージョンは開発当時のものです。新規ご依頼には、新しいバージョンにも対応しております。詳細はお問い合わせください。



採用情報

新たなる時代への挑戦

日本メカトロンは、産業技術総合試験研究所の次世代電池の共同研究を行っています。新たな時代をリードする最新技術に積極的に挑戦しています。

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